CS系列碳化硅专用抛光液

产品简介

CS系列抛光液是由高纯度硅溶胶配制而成的抛光料浆，适用于碳化硅晶片的最终精抛。

主要特点

该产品主要成分是纳米级的二氧化硅溶胶，颗粒经过专门优化设计，抛光材料表面质量更佳，细划伤、平整度均能达到要求，可以提高良品率。使用简单，产品具有很好的流动性和分散性。该产品还具有不易结晶、易清洗、抛光效率高等优点，可以满足碳化硅晶片的精抛加工要求，也可根据客户工艺调整做定制化产品。